| 型号 技术参数 |
小型真空/高低温探针台T-CV4Mini |
| 真空台体 |
载物台尺寸 |
1英寸、2英寸(标配) |
| 载物台材质 |
金属/镀金/镀镍等 |
| 真空度 |
10-1Torr/10-2Torr/10-3Torr/10-4Torr/10-5Torr（可选） |
| 探针臂数量 |
4套(标配) |
6套 |
| X轴位移范围 |
50mm(标配) |
| Y/Z轴位移范围 |
12mm(标配) |
| 样品固定 |
卡槽固定，或弹簧压爪 |
| 真空泵组 |
机械泵(标配)/分子泵组（可选） |
| 电信号接口 |
同轴Triaxial(标配)，SMA,BNC,RF接口可选 |
| 温度控制仪 |
制冷源 |
液氮(标配)、制冷机 |
| 控温范围 |
-60℃至100℃(标配)
-196℃/-150℃/-120℃/-100℃/-60℃至100℃/150℃/200℃/300℃(可选)； |
| 温度分辨率 |
0.1℃分辨率(标配) |
| 温度稳定性 |
±0.5℃(@30℃/min) |
| 功率 |
500W~1000W |
| 液氮供应系统 |
控制方式 |
制冷作用，PID闭环控制
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| 控制信号电压 |
DC 24V |
| 液氮罐 |
30L（标配）50L/60L/100L（选配） |
| 运行噪音 |
≤55dB |
| 显微镜 |
显微镜类型 |
单筒显微镜（标配） |
| 放大倍率 |
30X~150X（标配） |
| 显微镜调焦距范围 |
0~30mm（标配） |
| 光源类型 |
外置LED环形光源/同轴光源（标配） |
| CCD相机 |
高清1080P（可拍照，录像、测量）（标配） |
| 探针夹具 |
线缆 |
同轴线（标配）/三轴线 |
| 漏电精度 |
1~10pA（标配）/100fa 量级 |
| 固定探针 |
弹簧固定/管状固定 |
| 接头类型 |
同轴Triaxial，SMA,BNC,RF接口可选 |
| 探针 |
类型 |
I/V探针，开尔文探针，微波探针 |
| 针尖直径 |
1微米/2微米/5微米/10微米/20微米/50微米/100微米/200微米 |
| 材质 |
钨合金/铍铜 |
| 高清显示器 |
21~22英寸高清显示器*1台（标配） |
| 外形尺寸 |
约500mm长*500mm宽*500mm高（视显微镜高度不同而不同） |
| 重量 |
约15~25KG |
| 可选附件 |
探针卡、隔震台、探针卡夹具、射频测试组件 |
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以上参数仅供参考，购买以实际为准。 |